在半導體生產中,特別是在物理和化學氣相沉積、蝕刻等工藝中,需要溫度控制設備來控制溫度。半導體冷水機組是一種特殊的制冷設備,可以精確控制負載溫度,實現過程范圍內的溫度控制。在這方面,卡得利相當不錯,富士康和華為的直接或間接企業(yè)都可以使用。
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